ООО”Базальт”

 

 

             УСТАНОВКА НАНЕСЕНИЯ

влагозащитных покрытий из газовой фазы в вакууме «УНБ-2»

 

 

1.  Установка для нанесения влагозащитных полимерных покрытий из газовой фазы, далее по тексту «Установка», служит для нанесения поли-пара-ксилиленовых покрытий на изделия РЭА, в т.ч. микроэлектроники.

2. Покрытия формируются методом осаждения в вакууме паров пара-ксилилена или его замещённых на холодную поверхность изделия, с одновременной его полимеризацией с образованием защитной пленки поли-пара-ксилиленов. Мономеры пара-ксилиленов получают путем пиролиза паров ди-пара-ксилилена или его замещённых в вакууме при температуре около 650°С.. Подачу паров контролируют изменением скорости возгонки кристаллических димеров путем регулирования нагрева испарителя.

3. Установка выполнена по модульному принципу: каждая технологическая операция функционально и конструктивно законченным модулем, все модули состыкованы между собой и установлены на общем каркасе.

4. Система управления и контроля технологических режимов выполнена двухуровневой: нижний уровень - микропроцессорная локальная автоматика с распределенной системой управления (на каждый регулятор свой контроллер), и верхний, персональный компьютер. Предусмотрена возможность работы без верхнего уровня, с ведением процесса вручную (оператор контролирует процесс и меняет уставки технологческих параметров по его ходу).

5. ТС может эксплуатироваться в производственных помещениях категории Г, Д, при следующих условиях окружающей среды:

- температура воздуха от 5 °С до 40 °С;

- относительная влажности воздуха до 80%;

- атмосферное давлении от 650 до 800 мм.рт.ст.

6. Степень защиты электрооборудования установки от воздействия внешней среды  соответствует IР54 (шкафы управления) и IР31 для модулей.

7. Электропитание установки осуществляется от трехфазной сети переменного тока напряжением 380/220 В, частотой 50 Гц, с нормами качества электроэнергии по ГОСТ 13109-67.

 

УНП-2 280.jpg

 

Особенности конструкции :

Модель УНБ-2 – это новая автоматическая промышленная установка, в которой реализованы новые эффективные технические решения по конструкции основных узлов установки, в частности, возгонки и пиролиза, повышающие их эксплуатационную надежность и снижающие энергопотребление.  Разработан новый программный продукт – алгоритм автоматического управления многофакторным процессом нанесения покрытия, в т.ч. стадии аппретирования. Двухуровневая система управления с микропроцессорными регуляторами температуры, вакуума и скорости роста пленки на нижнем уровне управления, объединенными в локальную сеть интерфейсом RS485, связана с верхним уровнем через преобразователь интерфейса  RS485/RS232.  Возможна автономная работа установки без компьютера в ручном режиме. В установке предусмотрен прямой контроль толщины наносимой пленки в ходе процесса.

     Установка выполнена по модульному принципу и  может комплектоваться разными по размеру камерами. Максимальная автоматизация процесса и удобство в обслуживании обеспечит надежную и стабильную работу установки и исключит влияние человеческого фактора.           

При разработке установки особое внимание было уделено удобству обслуживания и ремонтопригодности: любое устройство электроавтоматики доступно для проверки и ремонта без демонтажа других устройств.

     Стоимость установки – в 2-3 раза ниже импортных аналогов.

 

                                                        

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ УСТАНОВКИ  УНБ2.

 

 

1.

Объем камеры осаждения, литров

 

160

 

2.

Внутренние размеры камеры:

                                                 

длина, мм диаметр, мм

500

638

 

3

Габаритные размеры установки, мм

длина ширина высота

2300

920

1750

Без учета стола компьютера

4.

Масса установки, не более, кг

 

600

 

5.

Установочная мощность, не более, кВт

 

11

3х380В+N

6

Среднее энергопотребление, кВт

 

4,5

 

7

Температура испарителя, °С

 

120-180

 

8

Температура пиролиза, °С

 

600-800

 

9.

Температура зоны охлаждения потока, °С

 

120

 

10.

Температура  в устройстве аппретирования, °С

 

150-250

 

11

Температура жидкости охлаждения камеры, °С

 

-3…+1

От холо-дильника

12

Температура стенок камеры, °С

 

-2...+3

 

13

Масса загрузки димера, макс., граммов

 

170

 

 

Давление паров в камере осаждения, Па

 

2-10

 

14

Давление на выходе насоса (до ловушки),Па

 

1-7

 

15

Скорость осаждения пленки поли-пара-ксилилена оптимальная, мкм/час

 

2,5-3

 

                    

 

 

На главную