УНБ1

установка для нанесения влагозащитных полимерных покрытий

из газовой фазы  

            Наиболее эффективным методом защиты изделий микро- и радиоэлектроники от воздействия конденсата влаги является нанесение на изделия сплошных  влагостойких, газонепроницаемых, химически инертных полимерных пленок с высокими электроизоляционными свойствами. Таким набором свойств обладают пленки поли-пара-ксилилена и его хлорпроизводных.

            Нанесение полимерной пленки производится методом осаждения с одновременной полимеризацией на изделии паров продуктов пиролиза ди-паро-ксилилена (или его хлорпроизводных) в вакууме, при давлении паров 0, 005-0.05 ммт.ст.

            В течении многих лет фирма «Базальт» специализировалась на оказании услуг по нанесению поли-пара-ксилиленовых покрытий. Опыт, приобретенный за это время на установках различных типов, позволил приступить к разработке и освоению выпуска типоразмерного  ряда технологических установок собственной конструкции. Получение высококачественных поли-пара-ксилилениовых пленок в этих установках обеспечивается современными средствами контроля  и управления технологическими параметрами процесса.

            Первой установкой типоразмерного ряда является установка УНБ1, с камерой осаждения объемом 15 литров.

 

           

Назначение установки.

       Установка служит для нанесения поли-пара-ксилиленового покрытия на изделия микроэлектроники и РЭА.

      

Состав и принцип действия установки УНБ1.

            Технологический модуль установки  включает в себя съёмный испаритель исходного продукта (ди-паро-ксилилена), пиролизатор, устройство охлаждения потока продуктов пиролиза, камеру осаждения и систему вакуумной откачки.

            Управление процессом осуществляется  двухуровневой системой, нижний уровень которой представляет собой набор автономных микропроцессорных приборов контроля и регулирования  технологических параметров. Приборы, осуществляющие контроль, индикацию состояний и текущих значений параметра регулирования и выработку управляющих сигналов  установлены на пульте управления.

 Сигналы управления подаются на исполнительные элементы (силовые ключи), расположенные в шкафу электроавтоматики.

Все приборы подключены к локальной сети через интерфейс RS485, и к верхнему уровню управления, компьютеру, через преобразователь интерфейса RS485/RS232. Возможна автономная работа установки без компьютера, с ручным вводом заданий параметров, и работа с компьютером, в двух режимах: первый позволяет только автоматизировать сбор и архивацию всех данных по ходу процесса, второй - управлять всеми технологическими параметрами установки по программе, заложенной в компьютер.

В установке предусмотрен прямой контроль толщины наносимой пленки в ходе процесса. При этом, контролируется как суммарная толщина нанесенной пленки, так и скорость нарастания ее толщины. Данные выводятся на цифровой ЖК индикатор микропроцессорного прибора контроля и одновременно передаются на компьютер через его второй порт RS232.

 

                                                                 Технические данные УНБ1.

Объем камеры осаждения, литров

15

Габаритные размеры установки, мм , столик компьютера сложен

2000÷610÷1100

Габаритные размеры с откинутым столиком и монитором

2000÷1290÷1200

Масса установки, не более, кг

400

Установочная мощность, не более, кВт

11

Среднее энергопотребление, кВт

4,5

Давление воды на входе, не менее, кГ/см.кв.

1,2

Температура испарителя, °С

120 ÷ 150

Температура пиролиза, °С

600 ÷ 800

Температура зоны охлаждения потока, °С

120

Температура  в устройстве апретирования, °С

150 ÷ 250

Температура жидкости охлаждения камеры, °С

+3 ÷ +10

Масса загрузки димера, макс., граммов

35

Давление паров в камере осаждения, ммт.ст.

0,04 ÷ 0,06

Давление на выходе насоса (до ловушки)

0,01 ÷ 0,02

Скорость осаждения пленки поли-пара-ксилилена оптимальная, мкм/час

2,5 ÷ 3

      

 

На главную